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日本SEN真空式光表面处理装置PL1-1107A名称真空式光表面处理装置型号PL1-1107A概要在真空状态下辐射处理185nm和254nm的装置。用途镜片、棱镜项目的清洗、改性各种基板材料的预处理特征真空度为0~0.001Torr照射尺寸为300×400mm,可作为生产机使用。
日本SEN真空式光表面处理装置PL1-1107A